Soporte personalizado
OEM, ODM
Material
Acero inoxidable/Silicio/nitruro de silicio, etc
Precisión
0,3% F.S. (≤ 30% F.S.) / 1.0% S.P. (> 0,3% F.S.)
Requisitos de gas
Gas limpio, seco y no corrosivo
Gas
Aire, N2, AR, CO2, él, H2,CH4, O2 y así sucesivamente
Rango de flujo
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) SLM
Integridad de fugas, fuera de borda
1x10-9 Pa m3/s Él
Tiempo de respuesta
≤ 0.5S
Temperatura de funcionamiento
0 ~ 50 ℃
Humedad de funcionamiento
10% ~ 90% RH(No congelado y condensación)
Suministro de energía
DC24V, ondulación wave≤ 50mV