Modelo | TS-900CJX | TS-1000CJX | TS-1250CJX | TS-900LDM | |
Usos | Capa de metal decorativa | Capa de metal decorativa | Capa de metal decorativa | La herramienta y muere el cubrir | |
Compartimiento | Volumen de compartimiento | 900×900×1000m m | 1000×1000×1000m m | 1250×1250×1400m m | 900×900×1100m m |
Estructura | Encajonado, pre-abra la puerta | Encajonado, pre-abra la puerta | Encajonado, pre-abra la puerta | Encajonado, pre-abra la puerta | |
Portador | Velocidad rotatoria | 1-15rpm | 1-15rpm | 1-10rpm | 1-10rpm |
Portador del substrato | Revolución o planetario | Revolución o planetario | Revolución o planetario | Revolución o planetario | |
Modo de la capa | Fuente de alimentación | C.C. o frecuencia intermedia | C.C. o frecuencia intermedia | C.C. o frecuencia intermedia | C.C. o frecuencia intermedia |
Blanco | Rectangular o circular | Rectangular o circular | Rectangular o circular | Rectangular o circular | |
Sistema de carga del gas | Presión controller+MFC | Presión controller+MFC | Presión controller+MFC | Presión controller+MFC | |
Otros componentes opcionales | fuente del Muti-arco, fuente de ion, sistema de calefacción, monitor etc. del espesor del film. | fuente del Muti-arco, fuente de ion, sistema de calefacción, monitor etc. del espesor del film. | fuente del Muti-arco, fuente de ion, sistema de calefacción, monitor etc. del espesor del film. | fuente del Muti-arco, fuente de ion, sistema de calefacción, monitor etc. del espesor del film. | |
Modo que controla | Automático | PLC o IPC | PLC o IPC | PLC o IPC | PLC o IPC |
Manual | Manual | Manual | Manual | Manual | |
Sistema de bomba | Recuperación del vacío | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min |
Última presión | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | |
China