Tipo

ZHD450 A

ZHD450 B

ZHD450 C

Método de la capa

Capa de la evaporación de la resistencia

Capa de la evaporación del haz electrónico de la resistencia/

Evaporación de la resistencia + farfulla del magnetrón

Tipos de la película

Películas orgánicas o películas etc. del metal.

¿Películas de múltiples capas, varias películas del filtro, películas de la reflexión, películas de la transmisión? etc.

Solas películas de la sustancia, películas del semiconductor, películas orgánicas, películas de óxido, películas de la reacción, películas dieléctricas, películas del semiconductor, dispositivos de OLED, etc.

Fuente de alimentación

Fuente de alimentación de Evapourate

Fuente de alimentación de Evapourate, fuente de alimentación del arma de electrón

Fuente de alimentación de Evapourate, fuente de alimentación del pulso

Electrodos y blancos

electrodos

electrodos, e-tipo arma de electrón

electrodos, blanco de la farfulla del magnetrón del plano circular

Control del vacío

Manual disponible/control del PLC/de PLC+HMI (opcional)

Dimensión del compartimiento de vacío

Φ450×H500 milímetro

Compartimiento de vacío

Pre-abra las estructuras verticales, sistemas de bombeo de la posposición, manuales empujar-y-tiran de manera

Bombas de vacío

Bomba molecular/de difusión + bomba mecánica

Velocidad de bombeo

Bombeando time≤20 minuto (minuto molecular) de la bomba/50 (bomba de difusión), de la presión atmosférica a 10-3Pa

Uniformidad de la película

Las fluctuaciones del espesor del film son menos el de 5%

Estructura de los electrodos

Electrodos de la refrigeración por agua

Temperatura de cocción del objeto

Ajustable y controlable de temperatura ambiente al °C 300 (control de la temperatura del PID)

Movimiento del objeto

0-20 RPM ajustables y revolución/rotación stepless controlables del cambio de la velocidad

Medida del vacío

Dos calibradores de vacío compuestos digitales

Protección

La alarma y la protección automática funcionan para el agotamiento del agua, flujo anormal, sobre fluir actual, sobre voltaje, y parada eléctrica, etc.

Parámetros básicos

Kilovatio Power≥12; Área servida: 12 m2; Peso: ~1200 kilogramos

Dispositivos opcionales

Refrigeración del monitor del espesor del film del oscilador de cuarzo, por agua y reciclaje de la máquina