| Marca: TECHNOL | Número de modelo: TSU-800 |
La máquina del vacío TSU-800 es magnetrón determinado que farfulla, deposición del plasma del multi-arco, tecnología de la deposición de vapor integra tres. Se puede utilizar para preparar de película metálica de una sola capa o de múltiples capas, de película magnética, la película del semiconductor, película, película del aislamiento, película de grabación magnética. película de grabación óptica, una película conductora transparente, capa da alta temperatura del superconductor. También en variantes, la capa de la superficie de la partícula en el acero del silicio. Conveniente para las empresas de los institutos de la enseñanza y de investigación científica, de la investigación, pequeñas y medias que platean el proceso y la producción de varias películas
Denominación | Máquina de capa de múltiples funciones de la serie de TSU | ||
tipo | Un tipo | A | C |
tamaño del compartimiento | Φ800mm×H800mm | Φ1000mm×H1000mm | Φ1200mm×H1200mm |
Fuente de alimentación | 3000W pulso bipolar generator*2 Multi-Arco target*2 de la energía 4000W blanco electromágnetica *1 de la energía de la energía *1 de la evaporación 1000W | 4000W pulso bipolar generator*2 Multi-Arco target*4 de la energía 4000W energía *1 de la evaporación 2000W Blanco electromágnetica *1 de la energía | 5000W pulso bipolar generator*2 4000W energía *1 de la evaporación del Multi-Arco target*8 3000W Blanco electromágnetica *1 de la energía |
Estructura de blanco de la farfulla | blanco magnética permanente *1+Φ60mmElectromagnetic target*1+ targets*2 rectangular +Φ65mmMulti-Arc target*2 de la evaporación electrodes*2 +Φ50.8mm de la refrigeración por agua | Multi-Arco rectangular electromágnetico magnético permanente target*4 de la blanco *1+Φ60mm target*1+ targets*2+Φ65mm de la evaporación electrodes*2+Φ50.8mm de la refrigeración por agua | Multi-Arco rectangular electromágnetico magnético permanente target*8 de la blanco *1+Φ60mm target*1+ targets*2+Φ65mm de la evaporación electrodes*2+Φ50.8mm de la refrigeración por agua |
Compartimiento de vacío | La vertical Pre-abre las estructuras, rotación modePublic de la rotación de la operación del backWorkpiece de los sistemas de ventilación, 0~20rpm, gama compuesta measurementDigital controlada ajustable de la medida del calibrador de vacío de CVTVacuum de atmosférico a 10-5Pa | ||
Método de la capa | Deposición +Evaporation del plasma de la evaporación +multi-arc de la farfulla del magnetrón | ||
Voltaje de polarización negativo | 0-1000V 12KW20KW | ||
Modo de la capa | Metal las películas, la película de la reacción, la película de película magnética, de múltiples capas, la película dieléctrica, la película orgánica, la capa del polvo, el etc. | ||
Estándar del objeto | Refrigeración por agua, calefacción, revolución disponible y rotación capaces de muestrear el monitor del grueso. | ||
Presión baja | 8×10-5Pa o 8×10-4Pa | ||
Componentes de sistema del vacío | pump+ molecular arraiga la bomba + bomba mecánica o bomba de difusión + bomba de las raíces + bomba mecánica | ||
Velocidad de bombeo | inferior o igual 20min del aire a 10-3Pa | ||
uniformidad de la membrana | el ≤±5% | ||
Blanco y energía de la blanco | Utilización el 30%~60% de la blanco | ||
Temperatura de cocción del objeto | Temperatura ambiente controlada ajustable 200 al ° C (control de la temperatura del PID) | ||
Control del vacío | Un tipo es manual, tipo es A.C. control automático | ||
control de gas | Tres sistemas del sistema de control del gas, ± 0.1sccm de la exactitud del control de flujo del gas 5L/3L/2L. | ||
protección | El equipo se está conduciendo, bajo compactación, flujo, dispositivos de protección de la sobretensión | ||
| power≥20KW, area9m2 | ||
Dispositivos de la opción | La fuente de ion de Pasillo de los dispositivos del grueso del oscilador de cuarzo, y las máquinas de la agua en circulación bombean, PLC, control de la PC, anti-lavar planchar la farfulla | ||
China
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