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Máquina del vacío----Serie de TEMD de máquina de capa óptica de la electrón-viga

  • Marca: TECHNOL
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Caraterísticas & Especificaciones de Máquina del vacío----Serie de TEMD de máquina de capa óptica de la electrón-viga

máquina del vacío -------La serie de TEMD de máquina de capa óptica de la electrón-viga está principalmente para la multi-capa, produciendo el filtro, película reflexiva, película de la transmisión. Según la necesidad de aumentar o de mejorar la distribución de elementos seleccionados tales como bombas de vacío, bombas criogénicas; Asignación de la trampa a baja temperatura del compartimiento de vacío; control de grueso usando regulador del grueso del cristal de cuarzo; fuentes ion-asistidas de la deposición, tales como bombardeo del RF. Materias primas sin restricción de la evaporación del haz electrónico: evaporación, y gama de ajuste de tarifa de evaporación del haz electrónico de la densidad del poder más elevado: uso de la fusión o materiales parciales de la evaporación, materiales del crisol de la evaporación del agua de empaquetado para evitar los materiales y el material de empaquetado, la reacción de la evaporación y de la deposición entre las películas de una pureza elevada. Apliqúese a los institutos de investigación científica y a las empresas de la producción óptica de la película fina.

Mecanografíe

TEMD-550

TEMD-650

TEMD-800

Dimensión del compartimiento de vacío

Φ550×H600 milímetro

Φ650×H700 milímetro

Φ800×H800 milímetro

El vacío logrado más alto

PA 6×10-5

Velocidad de bombeo

Minuto de bombeo time≤20, de la presión atmosférica a 2×10-3Pa

Fuente de la evaporación

Energía del arma de electrón

6 KILOVATIOS

Volumen del crisol

agujero 20 ml×4

Energía de la evaporación de la resistencia

2.5 KILOVATIOS

Electrodos de la refrigeración por agua

Dos pares (evapórese alternativamente)

Temperatura de cocción

°C 300 (aparatos de la calefacción tubulares)

Maquillaje del sistema del vacío

Sistema de bomba molecular de 1600 L/S

Sistema de bomba molecular de 1600 L/S

Sistema de bomba de difusión K-600

Medida del espesor del film

Monitor del espesor del film del oscilador de cuarzo

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