máquina del vacío -------La serie de TEMD de máquina de capa óptica de la electrón-viga está principalmente para la multi-capa, produciendo el filtro, película reflexiva, película de la transmisión. Según la necesidad de aumentar o de mejorar la distribución de elementos seleccionados tales como bombas de vacío, bombas criogénicas; Asignación de la trampa a baja temperatura del compartimiento de vacío; control de grueso usando regulador del grueso del cristal de cuarzo; fuentes ion-asistidas de la deposición, tales como bombardeo del RF. Materias primas sin restricción de la evaporación del haz electrónico: evaporación, y gama de ajuste de tarifa de evaporación del haz electrónico de la densidad del poder más elevado: uso de la fusión o materiales parciales de la evaporación, materiales del crisol de la evaporación del agua de empaquetado para evitar los materiales y el material de empaquetado, la reacción de la evaporación y de la deposición entre las películas de una pureza elevada. Apliqúese a los institutos de investigación científica y a las empresas de la producción óptica de la película fina.
Mecanografíe | TEMD-550 | TEMD-650 | TEMD-800 | |
Dimensión del compartimiento de vacío | Φ550×H600 milímetro | Φ650×H700 milímetro | Φ800×H800 milímetro | |
El vacío logrado más alto | PA 6×10-5 | |||
Velocidad de bombeo | Minuto de bombeo time≤20, de la presión atmosférica a 2×10-3Pa | |||
Fuente de la evaporación | Energía del arma de electrón | 6 KILOVATIOS | ||
Volumen del crisol | agujero 20 ml×4 | |||
Energía de la evaporación de la resistencia | 2.5 KILOVATIOS | |||
Electrodos de la refrigeración por agua | Dos pares (evapórese alternativamente) | |||
Temperatura de cocción | °C 300 (aparatos de la calefacción tubulares) | |||
Maquillaje del sistema del vacío | Sistema de bomba molecular de 1600 L/S | Sistema de bomba molecular de 1600 L/S | Sistema de bomba de difusión K-600 | |
Medida del espesor del film | Monitor del espesor del film del oscilador de cuarzo | |||
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