Métodos de la capa

Magnetrón del RF que farfulla/farfulla bipolar asimétrica del magnetrón del pulso

Tipos de la película

Metal las películas, películas dieléctricas, películas de la reacción, películas de óxido

Fuente de alimentación

fuente de alimentación del pulso;
Fuente de alimentación del RF

Estructura de la blanco de la farfulla

blanco magnética permanente
blanco magnética del resever

Compartimiento de vacío

Pre-abra las estructuras verticales, sistemas de bombeo de la posposición

El vacío logrado más alto

Bomba molecular (PA 6.6×10-5); Bomba de difusión (PA 6.6×10-4)

Bombas de vacío

Bomba molecular + bomba mecánica

Velocidad de bombeo

Minuto de bombeo time≤20, de la presión atmosférica a 10-3Pa

Uniformidad de la película

Las fluctuaciones del espesor del film son menos de el 5%

Modo de operación del objeto

¿Revolución, 0? cambio stepless de la velocidad de 20 RPM (ajustable y controlable)

Medida del vacío

Calibradores de vacío compuestos de Digitaces

Control del vacío

Control manual disponible de /PLC/PLC +HMI

Control de flujo del gas

Control de flujo del gas de 2-3 caminos

Protección

La alarma y la protección automática funcionan para el agotamiento del agua, flujo anormal, sobre fluir actual, sobre voltaje, y parada eléctrica, etc.

Parámetros básicos

Power≥12KW; Área servida: 10m2

Dispositivos opcionales

Monitor del espesor del film del oscilador de cuarzo, fuente de ion de Pasillo, diagonal menos, refrigeración por agua y reciclaje de la máquina