Tipo

TZB450A

TZB450B

TZB450C

Método de la capa

Capa de la evaporación de la resistencia + caja de guante

Capa de la farfulla del magnetrón + caja de guante

Evaporación + magnetrón de la resistencia que farfulla + caja de guante

Tipos de la película

Sustancia simple, películas compuestas de los óxidos, de los dieléctricos, del semiconductor, etc.

Películas del metal/del no metal, etc.

Películas de la sustancia simple, películas del semiconductor, películas orgánicas, películas de óxido, películas de la reacción, películas dieléctricas, películas del superconductor, películas matálicas-cerámicas, películas ópticas, etc.

Fuente de alimentación

Fuente de alimentación de Evapourate

Fuente de alimentación de DC/Bipolar pulse/RF

evapourate/fuente de alimentación bipolar del pulso

Electrodos y blancos

electrodos

Varias blancos de la farfulla del magnetrón

electrodos, blanco de la farfulla del magnetrón

Dimensión del compartimiento de vacío

Φ450×H400 milímetro

Estructura del compartimiento de vacío

Pre-abra las estructuras verticales, sistemas de bombeo de la posposición, manuales empujar-y-tiran de manera

El vacío logrado más alto

6. PA 6×10-5

Bombas de vacío

Bomba molecular + bomba mecánica

Velocidad de bombeo

Bombeando time≤20 minuto (minuto molecular) de la bomba/50 (bomba de difusión), de la presión atmosférica a 10-3Pa

Uniformidad de la película

Las fluctuaciones del espesor del film son menos de el 5%

Estructura de los electrodos

electrodos

Farfulla del magnetrón

fuente de alimentación del pulso + targets× magnético permanente 1-3

Temperatura de cocción del objeto

Ajustable y controlable de temperatura ambiente al °C 300 (control de la temperatura del PID)

Movimiento del objeto

0-20 RPM ajustables y revolución/rotación stepless controlables del cambio de la velocidad

Control del vacío

Control manual

Medida del vacío

Bajo-alto × compuesto digital 2 del calibrador de vacío

Control del vacío

Manual/control del PLC/del PLC + de HMI

Protección

La alarma y la protección automática funcionan para el agotamiento del agua, flujo anormal, sobre fluir actual, sobre voltaje, y parada eléctrica, etc.

Parámetros básicos

Kilovatio Power≥12; Área servida: 9 m2; Peso: ~800 kilogramos

Dispositivos opcionales

Monitor del espesor del film del oscilador de cuarzo, refrigeración del fuente de ion de Pasillo, por agua y reciclaje de la máquina, limpieza de la Anti-farfulla, máquina de compresión del aire