El equipo químico caliente del diamante de la deposición de vapor químico del filamento de la serie del HF funciona en base de técnica de la deposición de vapor químico del caliente-filamento, y se puede utilizar para depositar las películas gruesas del diamante, las películas del nitruro de silicio, y las películas del dióxido de silicio, etc. Son extremadamente convenientes para la producción industrial y se han ejecutado en las líneas de productos de muchas compañías bien conocidas. Usando nuestros equipos, estas compañías han producido las obleas policristalinas sheet-like del diamante con dimensiones grandes y han realizado ya considerables ventajas económicas de estos productos. Además, nuestros equipos son también muy convenientes para la investigación científica y la educación y para el desarrollo en grande de nuevos productos comerciales.

Tipo

Mecanografíe A

Mecanografíe B

Mecanografíe C

Dimensión del compartimiento de la farfulla

Φ450×H450mm

Φ650×H770mm

Φ800×H800mm

Dimensión de la plataforma del substrato

Φ150×H44mm

Φ200×H44mm

Φ300×H44mm

Altura de la plataforma del substrato

¿200? 150m m

¿200? 150m m

¿200? 150m m

Índice de la rotación de la plataforma del substrato

0-20 RPM (ajustables)

0-20 RPM (ajustables)

0-20 RPM (ajustables)

Tamaño del electrodo

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Corriente a través del electrodo

> 300 A

> 300 A

> 300 A

Resistencia de oxidación de los materiales

Resistencia de oxidación atmosférica

Resistencia de oxidación atmosférica

Resistencia de oxidación atmosférica

Tipos de la película

Películas gruesas del diamante

Películas gruesas del diamante

Películas gruesas del diamante

Fuente de alimentación

Hot-wire la fuente de alimentación

Hot-wire la fuente de alimentación

Hot-wire la fuente de alimentación

Estructura del compartimiento de vacío

Pre-abra las estructuras verticales, sistemas de bombeo de la posposición, refrigeración por agua de la Doble-capa

El vacío logrado más alto

PA 1.0×10-3

Bombas de vacío

La bomba de difusión + arraiga las bombas + bomba mecánica + bomba de proceso

Velocidad de bombeo

Minuto de bombeo time≤30, de la presión atmosférica a 10-3Pa

Uniformidad de la película

Las fluctuaciones del espesor del film son menos de el 5%

Medida del vacío

Dos bajos, calibradores de un altos vacío compuestos digitales, calibradores del espesor del film

Control del vacío

Control manual o control automático

Control de flujo del gas

Control de flujo del gas de tres caminos y los sistemas de visualización correspondientes

Protección

La alarma y la protección automática funcionan para el agotamiento del agua, flujo anormal, sobre fluir actual, sobre voltaje, y parada eléctrica, etc.

Parámetros básicos

Power≥15KW; Peso: 500kg; Área servida: 8m2

Dispositivos opcionales

Refrigeración por agua desionizada y reciclaje de la máquina, control del PLC, el control manual entero, control semiautomático