Tipo

ZHD230 A

ZHD230 B

ZHD230 C

Bombas de vacío

Bomba de difusión + bomba mecánica

Bomba molecular + bomba mecánica

Bomba de difusión + bomba mecánica

El vacío logrado más alto

6. 6 ×10-4Pa

6. PA 6 ×10-5

6. PA 6 ×10-4

Fuente de alimentación

2 KILOVATIOS

Estructura de los electrodos

Un par de electrodos de la evaporación

Un par de electrodos de la evaporación

Un par de electrodos de la evaporación, juego de A del equipo de carbón-rociadura

Tipos de la película

Metal las películas, las películas de óxido, las películas dieléctricas, las películas del semiconductor, las películas orgánicas, el etc.

Electrodos de la evaporación

un par de electrodos de la refrigeración por agua

Compartimiento de la capa

Dimensión: 230×H300 milímetro; Material: cubierta de cristal; Estructura de arriba hacia abajo

Velocidad de bombeo

Bombeando time≤20 minuto (minuto molecular) de la bomba/30 (bomba de difusión), de la presión atmosférica a 10-3Pa

Uniformidad de la película

Las fluctuaciones del espesor del film son menos de el 5%

Medida del vacío

Bajo-alto × compuesto digital 1 del calibrador de vacío, de la presión atmosférica a PA 10-5

Control del vacío

Control manual

Ayuda de la muestra

Φ80100 milímetro, localiza en la tapa del compartimiento

Protección

La alarma y la protección automática funcionan para el agotamiento del agua, flujo anormal, sobre fluir actual, sobre voltaje, y parada eléctrica, etc.

Parámetros básicos

Kilovatio Power≥5; Área servida: 5 m2

Ambiente y condiciones de trabajo

Dispositivos opcionales

Refrigeración por agua y reciclaje de la máquina